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スパッタリングターゲット材、蒸着材料ならUSTRON(アストロン)

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合成石英、溶融石英材料

合成石英、溶融石英、不透明石英、石英管/棒

石英製品は2000年から中国上海にて製造しており、合成石英ガラス・溶融石英ガラスで、様々な用途・形状に応じた対応も可能です

 

  1. 蒸着材料・スパッタターゲット材として石英(SiO2)材料
  2. 光学ガラス基板・耐熱窓ガラスとして合成石英材料
  3. 半導体及び太陽電池製造用、 石英ボート・耐酸性洗浄槽・治具類として合成石英、溶融石英、石英管、棒
  4. 石英炉心管・石英チャンバー等として石英材料

化学成分

溶融石英ガラスは高純度の天然水晶を原材料に、酸水素火炎法による生成されます。

また、合成石英ガラスは主に四塩化ケイ素を原料として製造されています。

含有する不純物は、溶融石英ガラスは数十ppm合成石英ガラスは数ppmのレベルでしかありません。 

 不純物(参考値)

石英種類 金属不純物(ppm)
Al B Ca Co Cu Fe K Li Mg Mn Na Ni Ti OH
酸水素溶融 22.00 0.20 1.50 1.10 0.01 1.50 2.00 2.00 0.30 0.50 2.00 0.10 2.00 200
8.00 0.04 0.60 - <0.05 0.15 0.07 0.15 <0.05 <0.05 0.08 <0.05 1.40 200
電気溶融 14.20 0.08 0.50 - <0.05 0.23 0.25 0.44 <0.05 <0.05 0.12 <0.05 1.30 <3
合成 ≦0.05 - ≦0.02 - ≦0.005 ≦0.005 ≦0.01 - - ≦0.005 ≦0.02 - ≦0.01 -
不透明 8 0.10 0.33 0.10 0.10 0.15 0.10 0.10 0.10 0.10 0.10 0.10 1.33 170

 

 

石英ガラス特性(溶融、合成)

 溶融石英ガラス合成石英ガラス
純 度 99.99% 99.999%
脈理方向 - 一方向フリ
OH(PPM) 200 1200
使用波長 240〜2500nm 200〜2500nm

透過率表

諸特性

Specification 溶融石英ガラス合成石英ガラス
組成 SiO2 Wt(%) 100 100
熱的性質 熱膨張係数 [10-7](50〜200)℃ 6 6
軟化点 (℃) 1730 1600
歪点 (℃) 1075 1025
光学的性質 屈折率(nd) 1.45847 1.45847
分散値(vd) 67.7 67.7
化学的性質 耐アルカリ性 (mg/cm2)※ 0.032 0.032
機械的性質 密度 (g/cm3) 2.20 2.20
ヤング率 (GPa) 72 72
硬度(ヌープ) (kg/mm2) 550 550
電気的性質 体積抵抗率 1013(Ω・cm)at 200℃ 4.0 4.0
誘電率 (F/m) 4.0 4.0

※NaOH溶液(1%)、20℃、100時間で表面積1cm2当たり0・032mg溶解する。

 

 

 

不透明石英材料

純度

 

密度 2.1~2.15g/㎝3
泡サイズ ≦100μm
熱膨張係数 6.4×10-7/℃
ひずみ点 1080℃
軟化点 1630℃

製造現場1 研削加工

製造現場2 仕上げ研磨

製造現場3 品質管理

加工製品(例2)

加工製品(例3)

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