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スパッタリングターゲット材、蒸着材料ならUSTRON(アストロン)

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半導体用石英製品

半導体製造工程のCVD工程や酸化・拡散工程に欠かせないチューブ、ボート、デバイスなど、日々高品質化しています。 当社は、関係会社の安定した石英素材の供給ルート、最新悦の加工設備と高度な加工技術で様々な要望に応えています。

 
         Top Ring        Focus Ring
   
       石英プレート        Flange support

ウエハー用石英ボート

半導体製造プロセス反応炉内でウエハー保持に使用される石英ボート。(横型、縦型)

石英炉心管

   縦型ボート

   

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