スパッタターゲット真空保管庫

UST-V700B-8

型　式：UST-V700B-8（実用新案登録済）

仕様・特徴

仕様

●　材質：　本体（ステンレス、板厚：6㎜）

●　外寸法（ｍｍ）：　W450×D450×H1360

●　最大搭載（サイズ）：　5inch×27inch, 最大８基搭載可能（縦式保管）

●　到達圧力(Pa)：　5.33KPa

●　操作方法：　排気操作；手動及び繰り返しタイマー式

●　排気速度（50/60Hz）：　ドライポンプ20/24（L/min）

●　圧力計：　圧力ゲージ(0～0.1Mpa)

●　架台：　移動式架台（車輪付き）

●　重量（本体）：　約100kg

●　型番：　UST-V700B-8

特徴

●　ターゲットの表面酸化を防ぎ、プレスパッター時間を短縮

●　プログラム設定にて「排気」「休止」を繰り返す、バルブ開閉は電磁弁

●　ドライポンプ排気圧（真空圧）にて保持

●　キャスターが付属しており、装置本体付近まで移動可能

●　転倒防止用・固定金具付き 　

●　100V,1000W(100Vコンセント)で省エネ設計

●　※ご要望仕様にて設計変更可能、お問い合わせください。