CVD工程や酸化・拡散工程に必要なチューブやボートは、高耐熱、高純度、パーティクル対策が求められています。当社は最新の測定技術と加工技術でこれらの要望に応え、大口径石英ガラス部材も提供しています。

高精度の研磨装置によって表面を研磨。最先端の欠陥検査装置によって高い品質を維持しています。

エッチング工程に用いられる石英ガラス製品では、近年、表面均一性に対する要求精度の向上に加え、さらなる微細化への対応が求められています。当社は、新たな加工技術の導入および既存技術の高度化を通じて、これらの高精度・高難度な要求に柔軟かつ確実に応えています。

CVDや酸化、拡散といった重要な工程で使用される石英チューブやボートには、デバイスの進化にともない、高純度やコンタミ対策といったさらなる品質向上が求められています。当社では、最新の製造設備と熟練の加工技術を活かし、多様化・高度化するお客様のニーズにお応えしています。

ウエハー洗浄用石英槽を、お客様のニーズに合わせて多様な形状で製作いたします。設計から製造まで一貫して対応し、プロセスに最適なソリューションを提供します。