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スパッタリングターゲット材、蒸着材料ならUSTRON(アストロン)

事業案内

合成石英、溶融石英

USTRON(アストロン)で取り扱っている石英ガラス製品についてご紹介します。

石英製品は2000年から中国上海にて製造しており、合成石英ガラス・溶融石英ガラスで、様々な用途・形状に応じた対応も可能です

 

  1. 蒸着材料・スパッタターゲット材として
  2. 光学ガラス基板・耐熱窓ガラスとして
  3. 半導体及び太陽電池製造用、 石英ボート・耐酸性洗浄槽・治具類として
  4. 石英炉心管・石英チャンバー等として

製造現場1 研削加工

製造現場2 仕上げ研磨

製造現場3 品質管理

加工製品(例1)

 

 

加工製品(例2)

加工製品(例3)

石英ガラス特性(溶融、合成)

 溶融石英ガラス合成石英ガラス
純 度 99.99% 99.999%
脈理方向 - 一方向フリ
OH(PPM) 200 1200
使用波長 240〜2500nm 200〜2500nm

諸特性

Specification 溶融石英ガラス合成石英ガラス
組成 SiO2 Wt(%) 100 100
熱的性質 熱膨張係数 [10-7](50〜200)℃ 6 6
軟化点 (℃) 1730 1600
歪点 (℃) 1075 1025
光学的性質 屈折率(nd) 1.45847 1.45847
分散値(vd) 67.7 67.7
化学的性質 耐アルカリ性 (mg/cm2)※ 0.032 0.032
機械的性質 密度 (g/cm3) 2.20 2.20
ヤング率 (GPa) 72 72
硬度(ヌープ) (kg/mm2) 550 550
電気的性質 体積抵抗率 1013(Ω・cm)at 200℃ 4.0 4.0
誘電率 (F/m) 4.0 4.0

※NaOH溶液(1%)、20℃、100時間で表面積1cm2当たり0・032mg溶解する。

透過率表

※上記透過率表の青線は合成石英、赤線は溶融石英です。

石英棒・石英管 規格表

下記形状以外もお問い合わせください。

透明石英管(材質:石英99.9%)

内径×外径×長さ

規格
1.4×3×1200
3×5×1200
4×6×1200
6×8×1200
7×9×1200
8×9×1200
9×11×1200
10×12×1200
11×13×1200
12×14×1200
13×15×1200
14×16×1200
17×15×1200
17×19×1200
16×20×1200
18×20.5×1200
20×23×1200
21×24×1200
22×25×1200
26×30×1200
35×38×1200
36×40×1200
46×50×1200

透明石英棒(材質:石英99.9%)

外径×長さ

規格
3×1240
3.5×1270
5×1240
6×1240
10×1240
12×1240
14×1240
15×1240
16×1240
18×1240
25×1240

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